硅片清洗設備,硅片全自動清洗機應用于集成電路,MEMS器件,微波器件,先進封裝等工藝。去膠清洗設備,顯影清洗設備,酸堿刻蝕機。也可用于零部件清洗,石英管道清洗,外延片清洗(砷化鎵,氮化鎵,碳化硅,鈮酸鋰等
馬弗爐,1200度高溫爐應用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測。粉末冶金行業以及義齒加工行業的烘烤、氧化鋯盤預燒結等。根據加熱區大小,進行小試,中試,批量生產。
高溫厭氧烘箱,厭氧固化烤箱將封閉腔內持續加熱到預設溫度后,進入保溫加熱控制狀態,電子元件在均勻的溫度下進行固化,提高電子元件的質量;也可滿足大容量烤箱的生產要求,提高了生產效率。
電子無塵烤箱,電子潔凈烘箱 晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結構,而成為有特定電性功能之IC產品。一般是芯片電路設計-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個工藝中晶圓烘烤工藝也很重要,且需要多次烘烤。
工業烘箱,工業無塵烘箱用于半導體制造中預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、IC封裝、治具烘烤、光刻膠固化等;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。