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        真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱 工業烘箱

        真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱 工業烘箱

        簡要描述:

        真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合前鍵合材料的真空處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。

         真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱簡介:

           真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱是一種定制真空烤箱。將高純度氮氣充入烤箱內部,從而置換腔內空氣降低氧濃度,來防止部分物料在高溫環境下加速氧化的現象。烤箱抽取真空后,充入氮氣,再抽取真空,多次循環后可以確保烤箱的工作室處于無氧的狀態,避免活性較強的物料在高溫有氧的環境下被氧化而損壞。

           無氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合前鍵合材料的真空處理ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。廣泛應用于半導體、電子產品、醫療衛生等行業,適用于工廠、高等院校、科研等場所。

        真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱技術指標:

        工作室尺寸(mm)

        450×450×450,600×600×600,可定制

        箱體材質

        內箱采用316L醫用級不銹鋼,外箱采用優質冷軋板靜電噴塑或不銹鋼

        溫度范圍

        RT+10-300/400/500℃ 

        溫度分辨率

        0.1℃

        溫度波動度

        ≤±1℃

        升溫速率

        5℃/min

        降溫速率

        特殊要求數據

        真空度

        ≤133pa或要求數據

        電源

        AC220V、 380V±10% / 50HZ        

        控制儀表

        人機界面,可校準溫度控制器,PID自整定等功能

        擱板層數

        不銹鋼托盤2層或多層

        真空泵

        油泵/干泵自選

        腔門密封圈

        采用耐高溫硅橡膠密封圈

        狀態指示燈

        配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機臺運行狀態

        氧含量

        20PPM,可檢測,實時顯示

        潔凈度

        Class100、1000級

        降溫系統

        風冷+水冷

        氮氣控制

        可程序自動控制

        安全保護裝置

        安全的接地保護裝置,超溫保護及報警裝置,漏電保護裝置

         

               上海雋思儀器 專為半導體生產烘烤制程設備定做服務,無氧烤箱,真空無氧化烤箱,無氧真空烘箱,無塵烤箱,無塵無氧烤箱,真空無氧固化烤箱,PI烤箱,潔凈烘箱,氮氣烤箱,隧道烘爐,HMDS真空烤箱等。

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