抗粘劑涂膠機,抗粘 劑真空預處理系統用于半導體,光電、電子行業硅片或石英硬模板等材料,如制備各種微納電子器件、光學器件、光電器件、存儲器、微流體通道、生物芯片等微納結構制備方面的應用。
氮氣烘箱,四箱氮氣烤箱,不銹鋼充氮烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
勻膠機,可程式勻膠 機用于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。
智能型烤膠機,自動烤膠臺適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩定度高,重復性好。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。
無氧化恒溫熱板,氮氣保護加熱臺用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、硅片高溫退火,電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求,形成高溫、低氧(無氧),特別適合半導體制造、玻璃退火、IC、石英玻璃、醫療衛生、柔性穿戴技術研發、精密模具退火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求。